

Fiziksel olarak köpürtülmüş TPU levhalarımız, yarı iletken endüstrisindeki Kimyasal Mekanik Düzlemselleştirme (CMP) işlemlerinin zorlu gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. İnce, homojen bir hücresel yapıya ve özelleştirilebilir sıkıştırma özelliklerine sahip bu köpüklü tabakalar, parlatma pedlerinin altında alt pedler veya yastıklama katmanları olarak kullanım için idealdir.
Ana Özellikler:
-
✅ Mükemmel Sıkıştırılabilirlik ve Esneklik
Gofret parlatma sırasında eşit basınç dağılımı ve tutarlı yüzey teması sağlar. -
✅ İnce Hücre Yapısı
Düşük yüzey kusurları ve stabil parlatma performansı sağlar. -
✅ Kimyasal Dayanım
CMP bulamaçlarına ve temizlik maddelerine karşı dayanıklıdır ve uzun süreli dayanıklılığı korur. -
✅ Boyutsal Kararlılık
Termal ve mekanik stres altında düzlüğü ve kalınlık homojenliğini korur. -
✅ Özelleştirilebilir Sertlik ve Kalınlık
Özel ekipman ve proses ihtiyaçlarını karşılamak için özel olarak tasarlanmıştır.
Tipik uygulamalar:
-
Gofret CMP parlatma sistemleri için alt ped
-
LCD cam veya optik lens parlatma için yastık tabakası
-
Çok katmanlı CMP ped yapılarında tampon tabakası
Çeşitli yoğunluklarda, kalınlıklarda ve sertlik seviyelerinde mevcut olan TPU köpük levhalarımız, gelişmiş yarı iletken üretimi için tutarlı, yüksek hassasiyetli performans sunar.